[实用新型]一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜有效
| 申请号： | 201520693103.0 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN204945619U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 曹常瑜 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/22 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 宋倩;袁由茂 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜，从物面开始，沿光轴依次包括具有正焦距的第一透镜组、光阑、具有负焦距的第二透镜组、具有正焦距的单片倍率调节透镜和曝光焦面；所述倍率调节透镜与所述第二透镜组之间满足以下关系：0.8≤d/f≤1.2；其中，d表示所述倍率调节透镜与所述第二透镜组之间的距离，f表示所述倍率调节透镜的焦距，f≥200mm。本实用新型设计合理，易于实现，操作便捷，在倍率调节的同时能够满足光刻物镜的畸变、远心度等指标要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 倍率 微调 功能 光刻 物镜 | ||
【主权项】：
一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜，其特征在于：从物面开始，沿光轴依次包括具有正焦距的第一透镜组、光阑、具有负焦距的第二透镜组、具有正焦距的单片倍率调节透镜和曝光焦面；所述倍率调节透镜与所述第二透镜组之间满足以下关系：0.8≤d/f≤1.2其中，d表示所述倍率调节透镜与所述第二透镜组之间的距离，f表示所述倍率调节透镜的焦距，f≥200mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备有限公司，未经合肥芯碁微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520693103.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于激光直写曝光机的自动吸尘装置
- 下一篇：精密掩膜板
