[实用新型]一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置有效
| 申请号： | 201520699643.X | 申请日： | 2015-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN204999966U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 陆传达;毕磊 | 申请（专利权）人： | 南京汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 210049 江苏省南京市经济*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置，包括侧挡板和底板，侧挡板由两块侧板拼合形成围挡，该围挡的两端位于拐角处设置有1/4圆弧状的围板结构，所述侧挡板有两块，两块侧挡板围合形成一侧面敞口的长方体，底板上具有一个半圆形缺口，所述底板有两块，底板卡设于两块侧挡板之间，底板与侧挡板的两个1/4圆弧围合形成完整的圆孔。本实用新型所述遮挡装置设计结构简单，使用轻便，可缩短维护时间，降低维护人员负荷，有效将溅射腔室内污染降到最低，降低短路风险，可提高制品膜层质量及溅射效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cigs 薄膜 电池 生产线 磁控溅射 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
一种CIGS薄膜电池生产线磁控溅射用遮挡装置，其特征在于，包括侧挡板和底板，侧挡板由两块侧板拼合形成围挡，该围挡的两端位于拐角处设置有1/4圆弧状的围板结构，所述侧挡板有两块，两块侧挡板围合形成一侧面敞口的长方体，底板上具有一个半圆形缺口，所述底板有两块，底板卡设于两块侧挡板之间，底板与侧挡板的两个1/4圆弧围合形成完整的圆孔。
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