[实用新型]一种泡生法蓝宝石晶体生长炉

摘要

本实用新型公开了一种泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括炉体、坩埚、炉盖和籽晶杆，所述炉体为底端封闭的筒体，所述炉体内设有圆筒状的侧隔热屏，炉体内底部设置有底部保温层和支架，所述底部保温层的顶部放置有底部反射屏，所述支架上放置所述坩埚，所述坩埚位于所述底部反射屏上方；所述炉盖底面设置有第一顶部隔热屏；围绕所述坩埚安装有侧加热器；所述炉体内还设置有底部加热器。本实用新型通过对加热器结构设计、隔热屏布置改进及其表面处理不仅能够灵活调控加热器功率为晶体生长提供良好的热场环境，提高晶体质量，而且还能显著地强化隔热系统保温效果，大大延长隔热屏使用寿命，进而降低蓝宝石晶锭总的生产成本。

主权项

一种泡生法蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：包括炉体、坩埚、炉盖和籽晶杆，其中所述炉体为底端封闭的筒体，所述炉体内设有圆筒状的侧隔热屏，炉体内底部设置有底部保温层和支架，所述底部保温层的顶部放置有底部隔热屏，所述支架上放置所述坩埚，所述坩埚位于所述底部隔热屏上方；所述炉盖底面设置有第一顶部隔热屏，籽晶杆的下端穿过所述炉盖和所述第一顶部隔热屏后伸入所述坩埚内，并且所述籽晶杆内设置有第一循环水道，以用于通入冷却水对籽晶杆进行冷却；围绕所述坩埚安装有侧加热器，所述侧加热器包括上下设置的上部加热器和下部加热器并且二者均为圆筒形，所述上部加热器与所述下部加热器之间存在间距，也即二者独立进行加热；所述炉体内还设置有底部加热器；所述底部加热器设置于所述坩埚的下方并与所述坩埚存在间距，其与所述下部加热器之间存在间距，也即二者独立进行加热；所述侧隔热屏由多层同轴圆筒嵌套构成，其中，内径最小的圆筒的内壁上套装有由钨制成的、整体呈圆筒状的侧反射屏；所述侧反射屏的内壁经过抛光处理成镜面，以用于反射热辐射，其下端抵接在所述底部保温层上。所述第一顶部隔热屏和底部隔热屏均整体呈圆环状，二者分别由多层同心圆环堆叠构成。