[实用新型]可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置有效
| 申请号： | 201520708223.3 | 申请日： | 2015-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN205003246U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 王暄;刘奇;李东平 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12;G01R31/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置，它包括高压电极、地电极、温度传感器、电加热片、反馈式精密温控仪、千分测厚仪、杠杆开关，所述高压电极内置温度传感器，所述电加热片封于地电极中，所述杠杆开关与高压电极相连，用于控制高压电极的高度。该装置在测试薄膜电击穿性能的同时，还可以获得薄膜的厚度信息，并且温度控制更加精确，因此本装置具有操作简单，实验精确度高、效率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 测量 薄膜 击穿 性能 电极 装置 | ||
【主权项】：
一种可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置，其特征在于：它包括高压电极（1）、地电极（2）、温度传感器（3）、电加热片（4）、反馈式精密温控仪（5）、千分测厚仪（6）、杠杆开关（7），所述高压电极（1）内置温度传感器（3），所述电加热片（4）封于地电极（2）中，所述杠杆开关（7）与高压电极（2）相连，用于控制高压电极（2）的高度。
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