[实用新型]一种显微镜量测用真空吸盘平台有效
| 申请号： | 201520711417.9 | 申请日： | 2015-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN205057847U | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 彭林源;王玲;范贇 | 申请（专利权）人： | 南京矽邦半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市浦口区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种显微镜量测用真空吸盘平台，包括平台本体、抽气管、真空发射器、阀门，所述的平台本体由上层平台板、中层平台板和下层平台板组成，所述的抽气管一端与中层平台板相连，另一端与真空发射器相连，所述的真空发射器通过阀门与外接压缩气体管相连。根据实际操作经验,薄片易翘曲材料通过本实用新型平台量测，测量精度和可操作性均得到显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显微镜 量测用 真空 吸盘 平台 | ||
【主权项】：
一种显微镜量测用真空吸盘平台，其特征在于：包括平台本体、抽气管、真空发射器、阀门，所述的平台本体由上层平台板、中层平台板和下层平台板组成，所述的抽气管一端与中层平台板相连，另一端与真空发射器相连，所述的真空发射器通过阀门与外接压缩气体管相连。
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