[实用新型]一种显微镜量测用真空吸盘平台有效
申请号: | 201520711417.9 | 申请日: | 2015-09-15 |
公开(公告)号: | CN205057847U | 公开(公告)日: | 2016-03-02 |
发明(设计)人: | 彭林源;王玲;范贇 | 申请(专利权)人: | 南京矽邦半导体有限公司 |
主分类号: | B25B11/00 | 分类号: | B25B11/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 210000 江苏省南京市浦口区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了一种显微镜量测用真空吸盘平台,包括平台本体、抽气管、真空发射器、阀门,所述的平台本体由上层平台板、中层平台板和下层平台板组成,所述的抽气管一端与中层平台板相连,另一端与真空发射器相连,所述的真空发射器通过阀门与外接压缩气体管相连。根据实际操作经验,薄片易翘曲材料通过本实用新型平台量测,测量精度和可操作性均得到显著提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 显微镜 量测用 真空 吸盘 平台 | ||
【主权项】:
一种显微镜量测用真空吸盘平台,其特征在于:包括平台本体、抽气管、真空发射器、阀门,所述的平台本体由上层平台板、中层平台板和下层平台板组成,所述的抽气管一端与中层平台板相连,另一端与真空发射器相连,所述的真空发射器通过阀门与外接压缩气体管相连。
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