[实用新型]一种真空镀膜设备观察窗有效
| 申请号： | 201520718566.8 | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN205152325U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李亚军 | 申请（专利权）人： | 镇江超威纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 陈丽君 |
| 地址： | 212132 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗，包括窗框、由强化玻璃制成的透镜和透镜固定框，透镜设置于窗框和透镜固定框之间，窗框和透镜固定框通过螺栓固接，窗框内设有循环冷却结构和遮板结构，循环冷却结构包括循环通道、冷水进口和冷水出口，遮板结构包括转动杆、遮板和把手，冷水进口和冷水出口通过管接头与冷却水管理连接，对观察窗整体进行不间断的降温，窗框与透镜固定框连接稳固，密封良好，遮板设置于观察窗靠内一侧，可有效阻隔真空镀膜设备内的离子外漏，在需要观察时，拉动把手，即可实现遮板转动，松下把手，遮板在重力作用下，自动归位，把手外套合有硅橡胶隔热套管，可阻隔热量，具有耐高温、密封好、使用寿命长的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 观察窗 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜设备观察窗，其特征在于，包括窗框、由强化玻璃制成的透镜和透镜固定框，所述透镜设置于窗框和透镜固定框之间，窗框和透镜固定框通过螺栓固接。
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