[实用新型]一种真空镀膜设备观察窗遮板

摘要

本实用新型提出的一种真空镀膜设备观察窗遮板，包括连接杆、遮板和把手，连接杆包括固定部、转动部和阻尼部，转动部上设有插孔，把手上设有插块，固定部上设有固定面，固定面上设有第二螺孔，阻尼部上设有阻尼套，把手外套合有硅橡胶隔热套管，其特点在于，本实用新型可有效遮挡观察窗透镜，减少离子对观察窗透镜的直接照射，防止观察窗透镜老化、模糊，保证观察效果，延长观察窗透镜的使用寿命，本实用新型通过阻尼套与观察窗间接连接，减少热源传递，并通过硅橡胶隔热套管阻隔热量，方便工作人员拉动把手进行观察，同时阻尼套使遮板具备了自动回位功能，杜绝了因工作人员误操作，而导致的离子外泄。

主权项

一种真空镀膜设备观察窗遮板，其特征在于，包括连接杆、遮板和把手，所述连接杆呈圆柱形，包括固定部、转动部和阻尼部，所述转动部设有贯穿转动部的插孔，所述插孔直径为R1，所述把手呈圆柱形，直径为R2，把手的一端设有插块，所述插块呈圆柱形，直径为R3，所述R2>R1>R3，插块上沿其所呈的圆柱形的轴向设有第一螺孔，插块与插孔对应配合，插入插孔内，把手通过螺栓和第一螺孔与转动部固接，把手外套合有硅橡胶隔热套管。