[实用新型]一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置有效
| 申请号： | 201520719855.X | 申请日： | 2015-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN205011829U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 胡征宇;李震林;侯章辉;谢国亮 | 申请（专利权）人： | 厦门建霖工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 郑浩 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材的基座，所述基座上设置有用于垫高废靶材且对废靶材进行冷却的散热层，所述基座周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂，所述固定臂上设置有高度可调的固定螺孔，所述固定螺孔内穿设有用于固定废靶材的固定螺钉。该装置设计简单，制作容易，加工成本低，维护方便，适用范围广，可普遍使用；该装置稳定性强，由于所用材料与原靶材相同，不会对生产过程产生不利影响；该装置可使圆形平面靶材多次利用，大大提升圆形平面靶材利用率，减少生产浪费，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 真空 电弧 圆形 平面 利用率 装置 | ||
【主权项】：
一种提高真空电弧镀圆形平面靶材利用率的装置，包括用于放置废靶材的基座，其特征在于：所述基座上设置有用于垫高废靶材且对废靶材进行冷却的散热层，所述基座周侧均匀分布有多个向上延伸的固定臂，所述固定臂上设置有高度可调的固定螺孔，所述固定螺孔内穿设有用于固定废靶材的固定螺钉。
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