[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化装置有效
| 申请号： | 201520724767.9 | 申请日： | 2015-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN205067962U | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;后闲宽彦;中川邦弘 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;李婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型的课题在于提供一种抗蚀剂层的薄膜化装置，在具备通过浸渍槽中的薄膜化处理液使抗蚀剂层中的成分胶束化的薄膜化处理单元的抗蚀剂层的薄膜化装置中，通过将基板上表面的抗蚀剂层表面的薄膜化处理液的覆盖量分布抑制在最小限度，能够解决抗蚀剂层的薄膜化处理量不均匀的问题。抗蚀剂层的薄膜化装置的特征在于，薄膜化处理单元具有用于向基板下表面的抗蚀剂层赋予薄膜化处理液的浸渍槽，设有用于通过辊涂敷向基板上表面的抗蚀剂层赋予薄膜化处理液的涂敷辊。通过上述抗蚀剂层的薄膜化装置能够解决问题。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂层 薄膜 化装 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂层的薄膜化装置，具备通过薄膜化处理液使抗蚀剂层中的成分胶束化的薄膜化处理单元，其特征在于，该薄膜化处理单元具有用于向基板下表面的抗蚀剂层赋予薄膜化处理液的浸渍槽，设有用于通过辊涂敷向基板上表面的抗蚀剂层赋予薄膜化处理液的涂敷辊。
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