[实用新型]简易大气压冷等离子体发生器有效
| 申请号： | 201520729844.X | 申请日： | 2015-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN205071427U | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 毕鲜荣 | 申请（专利权）人： | 无锡思清源生物科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型属于大气压放电冷等离子体发生器技术领域，涉及一种简易大气压冷等离子体发生器。特征在于：所述发生器包括射频电极、隔板和地电极，从而构成平板型的大气压放电冷等离子体发生器。所述射频电极具有横纵交叉气体通道结构，可有效的将工作气体均匀的分配到放电室，隔板将射频电极和地电极隔开，保证电极间的放电间距，地电极与射频电源地线连接，下部具有凸起结构，凸起结构表面具有规律排列的凹槽作为等离子体出口，该等离子体发生器结构简单，可以在比较低的击穿电压下产生大面积的、均匀的辉光放电等离子体，并且发生器下部凸起结构可伸入到工件凹陷结构内部进行处理，大大扩展了其应用范围，其在等离子体薄膜沉积、刻蚀、消毒灭菌、工业微生物诱变育种，特别是大面积处理样品的领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 简易 大气压 等离子体 发生器 | ||
【主权项】：
简易大气压冷等离子体发生器，其特征在于，所述发生器是基于平板型结构的大气压放电冷等离子体发生器，含有：电极：由射频电极、地电极两块平板构成，该电极间有支撑、密封用的隔板。
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