[实用新型]高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装置有效
| 申请号： | 201520748646.8 | 申请日： | 2015-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN205067963U | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 刘斌 | 申请（专利权）人： | 天津普林电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300000 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装置，包括槽体(1)、连接装置(2)、上喷淋装置(3)、传送带(4)、下喷淋装置(5)、喷盘(6)，所述传送带(4)与槽体(1)连接，所述喷盘(6)以传送带(4)为轴通过连接装置(2)与槽体(1)对称连接，所述上喷淋装置(3)和下喷淋装置(5)与喷盘(6)连接，所述上喷淋装置(3)和下喷淋装置(5)均采用扇形喷嘴，所述上喷淋装置(3)与下喷淋装置(5)之间的距离在25-27cm之间。本实用新型能够提高上下喷淋面形成线路后线宽和间距一致性，采用扇形喷嘴更容易保养和维护，方便员工操作。 | ||
| 搜索关键词： | 高密度 积层板制程中 一种 酸性 蚀刻 显影 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
高密度积层板制程中一种酸性蚀刻机显影段喷淋装置，其特征在于，包括槽体(1)、连接装置(2)、上喷淋装置(3)、传送带(4)、下喷淋装置(5)、喷盘(6)，所述传送带(4)与槽体(1)连接，所述喷盘(6)以传送带(4)为轴通过连接装置(2)与槽体(1)对称连接，所述上喷淋装置(3)和下喷淋装置(5)与喷盘(6)连接，所述上喷淋装置(3)和下喷淋装置(5)均采用扇形喷嘴。
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