[实用新型]一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体霍尔元件有效
申请号: | 201520756633.5 | 申请日: | 2015-09-28 |
公开(公告)号: | CN205004354U | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 胡双元;黄勇;朱忻 | 申请(专利权)人: | 苏州矩阵光电有限公司 |
主分类号: | H01L43/06 | 分类号: | H01L43/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215614 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体霍尔元件,其结构包括霍尔元件功能层薄膜,通过倒装焊的方式组装在绝缘散热底座上,绝缘散热底座预先已制备好电极图形。用于生长霍尔元件功能层薄膜的单晶衬底,通过衬底剥离的方式,与霍尔元件功能层薄膜分离,昂贵的单晶衬底经过简单处理后,可以重复用于外延生长,重复次数在20次以上,可大大降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 化合物 半导体 霍尔 元件 | ||
【主权项】:
一种Ⅲ‑Ⅴ族化合物半导体霍尔元件,其结构包括自下而上设置的绝缘散热底座、欧姆接触电极、霍尔元件功能层薄膜,其特征在于:霍尔元件结构中不含Ⅲ‑Ⅴ族化合物半导体单晶衬底,采用绝缘散热底座作为支撑。
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