[实用新型]一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备

摘要

一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备，属于微纳制造和器件制造技术领域。包括直流电源、含镍离子液体的电铸槽、浸于所述电铸槽内的圆饼状阳极体与圆饼状镍板、两端管道分别置于承载有镍离子液体的电铸槽内的对角线端点处的驱动装置以及包含有恒温装置的加热装置，本实用新型提供的一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备，通过驱动装置驱动镍离子液体在电铸槽内循环流动，在恒温装置加热装置的共同作用下使镍离子液体温度保持恒定，通过直流电源，使与阳极体相连的圆饼状镍板中的镍离子逐渐沉积到阴极体上，完成了镍模板的复制。

主权项

一种适用于纳米压印镍模板复制的电铸设备，其特征在于，包括：直流电源，用于为电铸设备提供所需能源；电铸槽，用于承载电铸所需要的镍离子液体；电铸阳极，置于电铸槽内，且与电源正极相连；电铸阴极，置于电铸槽内，电铸阴极与电源负极相连；圆饼状镍板，与上述阳极相连；驱动装置，两端管道浸于镍离子液体中，分别置于电铸槽内的两端对角线端点处，所述驱动装置用于驱动电铸槽中的镍离子液体循环流动；加热装置，用于对上述所述镍离子液体进行加热，其中加热装置应包括恒温装置，以确保镍离子液体温度恒定。