[实用新型]一种平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台有效

专利信息
申请号: 201520771283.X 申请日: 2015-09-30
公开(公告)号: CN205008869U 公开(公告)日: 2016-02-03
发明(设计)人: 张君安;刘锡尧;刘波;赵晓龙 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: B23Q1/38 分类号: B23Q1/38;B25H1/00
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 代理人: 黄秦芳
地址: 710032 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台,该共基面运动平台包括设置有第一动直线导轨的第一静直线导轨、设置有第二动直线导轨的第二静直线导轨、静平面气浮导轨、动平面气浮导轨,所述第二静直线导轨垂直设置在第一动直线导轨上,所述第二动直线导轨的一侧通过连接机构与动平面气浮导轨连接;所述第一静直线导轨、第二静直线导轨、动平面气浮导轨均设置在静平面气浮导轨上方。本实用新型利用气体作为均化介质,以共基面平面气浮导轨运动原理来实现二维X-Y平面内的气体误差均化,更大限度发挥误差均化效应,从而指导实践,大大提高气浮导轨的运行精密度。
搜索关键词: 一种 平面 导轨 误差 共基面 运动 平台
【主权项】:
一种平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台,其特征在于,该共基面运动平台包括设置有第一动直线导轨(1)的第一静直线导轨(3)、设置有第二动直线导轨(7)的第二静直线导轨(6)、静平面气浮导轨(2)、动平面气浮导轨(4),所述第二静直线导轨(6)垂直设置在第一动直线导轨(1)上,所述第二动直线导轨(7)的一侧通过连接机构(5)与动平面气浮导轨(4)连接;所述第一静直线导轨(3)、第二静直线导轨(6)、动平面气浮导轨(4)均设置在静平面气浮导轨(2)上方。
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