[实用新型]具有通气功能的晶圆传送盒

摘要

本实用新型涉及一种具有通气功能的晶圆传送盒。具有通气功能的晶圆传送盒包括一盒体、一承载座、多个气体传输装置及一盖体。该盒体具有一开口、一容纳空间及多个气体输入孔。该承载座设置于该容纳空间内，该承载座用以承载一晶圆盒。所述气体传输装置用以连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的气体输入孔。该盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。本实用新型的晶圆传送盒可输入气体，以控制该晶圆传送盒内的温度、湿度及特殊气体含量，且本实用新型的晶圆传送盒可输入气体至该晶圆盒内，以控制晶圆盒内的温度、湿度及特殊气体含量，避免晶圆盒内晶圆受到杂质或微粒的污染或因环境变化而造成晶圆损坏。

主权项

一种具有通气功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有通气功能的晶圆传送盒包括：一盒体，所述盒体具有一开口、一容纳空间及多个气体输入孔；一承载座，所述承载座设置于该容纳空间内，该承载座承载一晶圆盒；多个气体传输装置，所述气体传输装置连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的气体输入孔；及一盖体，所述盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。