[实用新型]一种用于单晶炉的称重系统有效
申请号: | 201520789814.8 | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN205556849U | 公开(公告)日: | 2016-09-07 |
发明(设计)人: | 潘清跃;王平 | 申请(专利权)人: | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/28 | 分类号: | C30B15/28;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213200 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于单晶炉的称重系统,包括坩埚、称重传感器、导向筒、平移机构和升降机构,所述的称重传感器安装在导向筒内,所述坩埚的两侧各设置有一个连接耳座,所述的连接耳座上开设有通孔,所述坩埚的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座相连,所述的平移机构与升降机构相连。本设计通过一个称重传感器测量石英坩内的重量,从而测量出剩余硅料量,起到了节约硅料的作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 称重 系统 | ||
【主权项】:
一种用于单晶炉的称重系统,其特征在于:包括坩埚(3)、称重传感器(10)、导向筒(9)、平移机构和升降机构,所述的称重传感器(10)安装在导向筒(9)内,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个连接耳座(6),所述的连接耳座(6)上开设有通孔,所述坩埚(3)的两侧各设置有一个升降机构,所述的升降机构与连接耳座(6)相连,所述的平移机构与升降机构相连。
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