[实用新型]一种靶圆精确度测量组件有效
| 申请号： | 201520795016.6 | 申请日： | 2015-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN205002739U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋静;蔡文生;张欣;蒋强 | 申请（专利权）人： | 南京安力联电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G09B19/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 210039 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶圆精确度测量组件，包括圆柱形标靶主体、目标靶位、激光测距仪和处理器，所述的标靶主体底部安装底座，所述的底座由外侧向圆心方向呈阶梯型，所述的目标靶位圆心处安装激光测距仪，所述的激光测距仪的信号输出端与处理器的信号输入端相连。该组件通过底座阶梯型的映射，可以巧妙的判断标靶主体落入目标靶位的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精确度 测量 组件 | ||
【主权项】：
一种靶圆精确度测量组件，包括圆柱形标靶主体、目标靶位、激光测距仪和处理器，其特征在于：所述的标靶主体底部安装底座，所述的底座由外侧向圆心方向呈阶梯型，所述的目标靶位圆心处安装激光测距仪，所述的激光测距仪的信号输出端与处理器的信号输入端相连。
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