[实用新型]一种新型加热盘装置

摘要

一种新型加热盘装置，主要解决现有加热盘由于射频电源导致的局部燃烧现象等问题，本实用新型提供一种新型加热盘装置，该加热盘包括加热盘本体，水冷块，金属垫圈，密封圈，金属垫圈安装槽及密封圈安装槽。本实用新型的加热盘结构简单，能够有效地防止加热盘上表面由于能量聚集而产生的局部燃烧现象。

主权项

一种新型加热盘装置，其特征在于，该加热盘包括加热盘本体，水冷块，金属垫圈,密封圈,金属垫圈安装槽及密封圈安装槽；所述水冷块内部设有金属垫圈安装槽与密封圈安装槽，金属垫圈安装在金属垫圈安装槽内并镶嵌在所述加热盘本体的底部，密封圈安装在密封圈安装槽内，水冷块与加热盘本体通过螺栓连接固定。