[实用新型]氢化炉

摘要

本实用新型关于一种氢化炉，涉及多晶硅生产领域，解决的技术问题是提高氢化炉抗蚀隔热性能，主要采取的技术方案：炉体及位于炉体底座上的发电电极，发热机构，包括发热体以及石墨底座；绝缘防护结构，包括锥管、两端开口的筒体以及中心具有通孔的氮化硅盖板；锥管、石墨底座依次设置在发电电极上，筒体套设在石墨底座上，氮化硅盖板盖设于筒体的顶部，发热体通过石墨底座与发电电极电连接。氮化硅盖板、筒体以及锥管组成绝缘防护结构，保护炉内电器连接件，当氢化炉工作时，由于氮化硅材料耐高温，耐压，抗腐蚀性好，能够减少由于炉内气流冲刷及高温灼烧造成的缺损，延长筒体和锥管的使用寿命，有效防止粉尘物进入到锥管中，避免氢化炉停车。

主权项

一种氢化炉，其特征在于，包括：炉体；位于所述炉体底座上的发电电极；发热机构，包括发热体以及石墨底座；绝缘防护结构，包括锥管、两端开口的筒体以及中心具有通孔的氮化硅盖板；所述锥管、所述石墨底座依次设置在所述发电电极上，所述筒体套设在所述石墨底座上，所述氮化硅盖板盖设于所述筒体的顶部，所述发热体穿过所述氮化硅盖板的通孔与所述石墨底座连接，并通过所述石墨底座与所述发电电极电连接。