[实用新型]传感器的安装机构及半导体加工设备

摘要

本实用新型提供了一种传感器的安装机构及半导体加工设备，该安装机构包括安装板、调节板、安装螺钉和顶开螺钉，其中，安装板与需要安装传感器的相应设备连接；调节板设置在安装板上，且具有用于安装发射/接收器的安装面，该安装面与发射/接收器水平发射/接收信号的方向之间的夹角呈锐角；在连接板的安装面上，且分别对应于发射/接收器的上部和下部设置有螺纹通孔和安装通孔，安装螺钉穿过安装通孔并与发射/接收器螺纹连接；顶开螺钉与螺纹通孔相配合，并顶住发射/接收器。本实用新型提供的传感器的安装机构，其不仅可以调节传感器的发射/接收信号的角度，而且使用的零件少，从而可以提高调节的准确性，降低加工成本。

主权项

一种传感器的安装机构，所述传感器为具有发射/接收器的非接触式传感器，其特征在于，所述安装机构包括安装板、调节板、安装螺钉和顶开螺钉，其中，所述安装板与需要安装所述传感器的相应设备连接；所述调节板设置在所述安装板上，且具有用于安装所述发射/接收器的安装面，所述安装面与所述发射/接收器水平发射/接收信号的方向之间的夹角呈锐角；在所述调节板的安装面上，且分别对应于所述发射/接收器的上部和下部设置有螺纹通孔和安装通孔，所述安装螺钉穿过所述安装通孔并与所述发射/接收器螺纹连接；所述顶开螺钉与所述螺纹通孔相配合，并顶住所述发射/接收器。