[实用新型]用于光阻过滤器预湿润的装置及光阻过滤器预湿润系统有效
| 申请号： | 201520807739.3 | 申请日： | 2015-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN204989750U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 詹云 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 陈薇 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于光阻过滤器预湿润的装置及光阻过滤器预湿润系统，包括用于安装光阻过滤器的第一支架，所述第一支架通过弹簧悬挂于振动器下方；还包括供液罐和排液罐，所述供液罐通过输液管与光阻过滤器的进口连接，所述排液罐通过输液管分别与光阻过滤器的出口和排气口连接。本实用新型在预湿润溶剂注入过程中启动振动器，带动光阻过滤器震动，使预湿润溶剂渗透过滤膜过程中产生的气泡脱离过滤膜表面，上浮至液面，并经光阻过滤器的出口和排气口，通过输液管排入排液罐；观察一定时间内输液管中无气泡出现，则表示预湿润完成；采用振动器协助排出气泡，使整个预湿润过程方便快捷，预湿润质量可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 过滤器 湿润 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种用于光阻过滤器预湿润的装置，其特征在于，包括用于安装光阻过滤器(8)的第一支架(1)，所述第一支架(1)通过弹簧(2)悬挂于振动器(3)下方；还包括供液罐(4)和排液罐(5)，所述供液罐(4)通过输液管(6)与光阻过滤器(8)的进口连接，所述排液罐(5)通过输液管(6)分别与光阻过滤器(8)的出口和排气口连接。
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