[实用新型]一种磁控溅射台有效
| 申请号： | 201520811646.8 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN205152319U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 蔚璇;陈娜 | 申请（专利权）人： | 北京普拉斯马科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100025 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种磁控溅射台，包括真空工作台、靶材、靶体和顶板，所述靶体设在靶材上，所述靶体与靶材螺纹连接，所述顶板设在靶材外侧，所述顶板与真空工作台无缝连接，所述顶板下方设置有屏蔽罩，所述靶材内设置有转动轴，所述转动轴上设置有电动机，所述转动轴与电动机传动连接，所述转动轴底部设置有磁铁，所述靶体外侧设置有电极、进水管和出水管，所述电极与靶材电性连接，所述进水管与出水管连通，该磁控溅射台结构简单，安装方便，能够保持刻蚀均匀，靶材利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射台，其特征在于：包括真空工作台、靶材、靶体和顶板，所述靶体设在靶材上，所述靶体与靶材螺纹连接，所述顶板设在靶材外侧，所述顶板与真空工作台无缝连接，所述顶板下方设置有屏蔽罩，所述靶材内设置有转动轴，所述转动轴上设置有电动机，所述转动轴与电动机传动连接，所述转动轴底部设置有磁铁，所述靶体外侧设置有电极、进水管和出水管，所述电极与靶材电性连接，所述进水管与出水管连通。
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