[实用新型]纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环有效
| 申请号： | 201520813164.6 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN205024317U | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;郑杰;尹辉 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环，其中阴极靶材产生的等离子体向过滤器的入口移动，阴极靶材周围设置有阳极，过滤器的出口与镀膜腔室连通，镀膜腔室内放置基片，过滤器的入口位置处设置有绝缘板挡环，绝缘板挡环呈圆锥管状，绝缘板挡环的一端大管径端与过滤器的入口固定，绝缘板挡环的另一端小管径端指向过滤器内，所述阴极靶材产生的等离子体在阳极的作用下向过滤器入口方向行进，在过滤器的入口位置处设置的绝缘板挡板，绝缘板挡板设置成圆锥管状结构，其圆锥状管内壁可对大部分灰尘的有效阻挡，既把绝缘板和灰尘隔离开来，提高了绝缘板的维护周期，又减少灰尘进入过滤器的量，进而减少灰尘颗粒由过滤器进入镀膜腔室的概率，从而确保镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 镀膜 装置 过滤器 绝缘 板挡环 | ||
【主权项】：
一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环，包括阴极靶材（10），所述阴极靶材（10）产生的等离子体向过滤器（20）的入口移动，阴极靶材（10）周围设置有阳极（30），过滤器（20）的出口与镀膜腔室（40）连通，所述镀膜腔室（40）内放置基片（50），其特征在于：所述过滤器（20）的入口位置处设置有绝缘板挡环（60），所述绝缘板挡环（60）呈圆锥管状，绝缘板挡环（60）的一端大管径端与过滤器（20）的入口固定，绝缘板挡环（60）的另一端小管径端指向过滤器（20）内。
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