[实用新型]纯离子镀膜装置过滤器的隔灰翻板有效
| 申请号： | 201520813285.0 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN205024316U | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 张心凤;郑杰;尹辉 | 申请（专利权）人： | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种纯离子镀膜装置过滤器的隔灰翻板，其中阴极靶材产生的等离子体向过滤器的入口移动，阴极靶材的周围设置有阳极，过滤器的出口与镀膜腔室连通，镀膜腔室内放置基片，过滤器的出口位置处设置有摆动式翻板，摆动式翻板呈现用于封堵过滤器的出口及与过滤器之间形成供等离子体通过的通道的两种位置状态，该翻板既能有效遮挡杂质颗粒，又不会对抽气性能产生较大影响。在纯离子镀膜源被预热或工作前，翻板处在关闭位置，确保温升过程中产生的杂质颗粒不会逃逸出过滤器而污染腔室和基片，当温度状态和真空度趋于稳定，镀膜环境比较清洁，翻板自动开启，开始纳米薄膜沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 镀膜 装置 过滤器 隔灰翻板 | ||
【主权项】：
一种纯离子镀膜装置过滤器的隔灰翻板，包括阴极靶材（10），所述阴极靶材（10）产生的等离子体向过滤器（20）的入口移动，阴极靶材（10）周围设置有阳极（30），过滤器（20）的出口与镀膜腔室（40）连通，所述镀膜腔室（40）内放置基片（50），其特征在于：所述过滤器（20）的出口位置处设置有摆动式翻板（60），摆动式翻板（60）呈现用于封堵过滤器（20）的出口及与过滤器（20）之间形成供等离子体通过的通道的两种位置状态。
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