[实用新型]适用于可扰曲材料的等离子清洗装置有效
| 申请号： | 201520817210.X | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN205413806U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 冯斌;金浩;王德苗;李东滨 | 申请（专利权）人： | 苏州求是真空电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于可扰曲材料的等离子清洗装置,包括：真空腔体，置于真空腔体内并安装可绕曲材料的卷轮，等离子气体管道，传送可绕曲材料使得可绕曲材料得到均匀清洗的传送组件。本实用新型提供一种根据等离子体源结构设计的清洗装置，可以方便且高效的获得高密度等离子体，实现对可扰曲材料的高效且全面的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 可扰曲 材料 等离子 清洗 装置 | ||
【主权项】：
适用于可扰曲材料的等离子清洗装置,其特征在于，包括：真空腔体，置于上述真空腔体内并安装可绕曲材料的卷轮，等离子气体管道，传送上述可绕曲材料使得上述可绕曲材料得到均匀清洗的传送组件。
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