[实用新型]探针台有效
申请号: | 201520817357.9 | 申请日: | 2015-10-20 |
公开(公告)号: | CN205049621U | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 肖体春 | 申请(专利权)人: | 肖体春 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型属于探针台领域,尤其涉及一种探针台。在样品参数测试时,通过驱动组件带动支撑件作上下移动,实现支撑件上的探针与安装台两者相对位置的调节,以使探针与样品的测试点快速分离或接触,该操作过程方便,效率高。 | ||
搜索关键词: | 探针 | ||
【主权项】:
一种探针台,包括底座、探针座、设置于所述探针座上的探针夹具、安装在所述探针夹具上的探针及设置于所述底座上且用于安装样品的安装台,其特征在于:还包括用于安装所述探针座的支撑件及用于驱动所述支撑件相对于所述底座上下移动的驱动组件。
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