[实用新型]一种双排气管扩散炉用石英管

摘要

本实用新型属于半导体领域，涉及一种双排气管扩散炉用石英管，管体的一端顶部并排设置有两个进气口，每个进气口均连通有进气管，每个进气管从管体内通向管体的另一端且管端封闭，位于管体内的进气管下表面均匀开设有进气孔；所述的管体的一端底部设置有两个排气口，每个排气口均连通有排气管，分别为N₂回收管和废气排气管，每个排气管从管体内通向管体的另一端且管端封闭，位于管体内的排气管上表面均匀开设有排气孔。本实用新型能够将扩散反应前预通的氮气单独收集，以便处理后再次利用，节约了原料，另外通过对传统喷淋式通气进行改进，既解决了产生层流的问题，又能够降低成本。

主权项

一种双排气管扩散炉用石英管，包括具有一个内腔的管体，管体内置有石英舟，石英舟上均匀排列有硅片，其特征在于：所述的管体的一端顶部并排设置有两个进气口，每个进气口均连通有进气管，分别为N₂进气管和O₂进气管，每个进气管从管体内通向管体的另一端且管端封闭，位于管体内的进气管下表面均匀开设有进气孔；所述的管体的一端底部设置有两个个排气口，每个排气口均连通有排气管，分别为N₂回收管和废气排气管，每个排气管从管体内通向管体的另一端且管端封闭，位于管体内的排气管上表面均匀开设有排气孔。