[实用新型]拆卸工具和化学气相淀积装置有效
| 申请号： | 201520827543.0 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN205062178U | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 沈建飞 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种拆卸工具，包括支撑轴、设置于所述支撑轴上的移动装置以及设置于所述移动装置上的夹持件，待拆卸物体通过所述夹持件夹持并拆卸，所述夹持件由所述移动装置带动，以移动至所述待拆卸物体。上述各部分的配合工作能够很方便地实现物体的拆卸。将上述拆卸工具应用至化学气相淀积机台中，本实用新型还提供了一种化学气相淀积装置，可以避免人工拆卸喷嘴带来的被砸伤或烫伤的危险。 | ||
| 搜索关键词： | 拆卸 工具 化学 气相淀积 装置 | ||
【主权项】：
一种拆卸工具，其特征在于，包括支撑轴、设置于所述支撑轴上的移动装置以及设置于所述移动装置上的夹持件，待拆卸物体通过所述夹持件夹持并拆卸，所述夹持件由所述移动装置带动，以移动至所述待拆卸物体。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
