[实用新型]一种探针台有效
申请号: | 201520828827.1 | 申请日: | 2015-10-23 |
公开(公告)号: | CN205067532U | 公开(公告)日: | 2016-03-02 |
发明(设计)人: | 谢翠萍;莫保章 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/26 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 智云 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公开了一种探针台,包括探针台主体和探针卡放置台,其中,所述探针台主体上开设有圆槽,所述探针卡放置台设置在所述圆槽中,所述探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔,所述探针卡放置台底部连接升降控制装置。本实用新型的探针卡放置台在升降控制装置的作用下,在探针台主体内部进行升降运动,升起后可进行取放探针卡操作,使探针卡具有更大的接触空间,方便快捷地取放探针卡,下降后将放置好的探针卡固定在探针卡放置台上表面和圆槽内,便于对探针卡进行正常的测试。本实用新型节省了取放探针卡的时间和精力,具有快速、便捷取放探针卡的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 | ||
【主权项】:
一种探针台,其特征在于,包括探针台主体和探针卡放置台,其中,所述探针台主体上开设有圆槽,所述探针卡放置台设置在所述圆槽中,所述探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔,所述探针卡放置台底部连接升降控制装置。
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