[实用新型]一种面向非导电硬脆材料的微细高效加工装置

摘要

本实用新型属于复合微细加工领域，公开了一种面向非导电硬脆材料的微细高效加工装置。本实用新型包括机床床身、电解-电火花加工单元、超声振动工作台和进给工作台；由于螺旋形工具电极的高速旋转及工件的超声振动，间隙流场能高效更新电解液。本实用新型将超声振动、电解、电火花、高速钻铣削等加工方法有机的结合在一起，完成非导电微结构的加工；即将工件、工具电极和辅助电极浸入电解液中，辅助电极与工具电极发生电解反应，接负极的工具电极表面析氢形成绝缘气膜，超声振动的空化作用有利于工具电极表面气膜的产生和均匀化，加工时，工具电极与工件表面的电解液发生火花放电击穿气泡膜，由此产生的高温蚀除非导电工件材料。具有高效率、高精度及成本低等优点，非常适合非导电硬脆材料的微细加工。

主权项

一种面向非导电硬脆材料的微细高效加工装置，包括机床床身、电解‑电火花加工单元、超声振动工作台和进给工作台(8)；进给工作台安装在机床床身上，超声振动台固定连接在进给工作台(8)上，工件(4)固定在超声振动台上；电解‑电火花加工单元包括主轴(1)、工具电极(2)、辅助电极(10)、电解‑电火花电源(11)，主轴(1)垂直于超声振动台放置；超声振动工作台包括超声波电源(9)、超声换能器(7)、变幅杆(6)及振动圆盘(5)；其特征是：进给工作台(8)具有X和Y两个自由度，主轴(1)具有Z方向的移动；超声振动工作台与工件(4)固定连接，将超声振动传递给工件(4)，驱动工件(4)沿主轴(1)轴向进行超声振动。