[实用新型]沉积罩

摘要

一种沉积罩，包含底板、第一侧板、第二侧板、第一出气板、第二出气板以及多个支撑件。底板是沿长度方向延伸，并具有第一侧边与第二侧边，第一侧板是从第一侧边处沿第一侧向延展方向延伸至第一侧板侧边，并在与第一侧边相连接处形成第一转接区域；第二侧板是从第二侧边处沿第二侧向延展方向延伸至第二侧板侧边，并在与第二侧边相连接处形成第二转接区域。第一出气板与第二出气板系分别自第一侧板侧边与第二侧板侧边延伸出。多个支撑件系分别设置于第一转接区域与第二转接区域，使底板分别固接连结于第一侧板与第二侧板。

主权项

一种沉积罩，其特征在于，包含：一底板，沿一长度方向延伸，并具有沿所述长度方向延伸的一第一侧边与一第二侧边；一第一侧板，从所述第一侧边处沿垂直于所述长度方向延伸的一第一侧向延展方向延伸至一第一侧板侧边，并在与所述第一侧边相连接处形成一第一转接区域；一第二侧板，从所述第二侧边处沿垂直于所述长度方向延伸的一第二侧向延展方向延伸至一第二侧板侧边，并在与所述第二侧边相连接处形成一第二转接区域；一第一出气板，自所述第一侧板侧边背向所述第二侧板侧边延伸出，所述第一出气板包含多个第一通气孔；一第二出气板，自所述第二侧板侧边背向所述第一侧板侧边延伸出，所述第二出气板包含多个第二通气孔；以及多个支撑件，分别设置于所述第一转接区域以及所述第二转接区域，其中设置于所述第一转接区域的所述支撑件与所述底板及所述第一侧板固接，设置于所述第二转接区域的所述支撑件与所述底板及所述第二侧板固接。