[实用新型]一种硅基电镀金属反射镜光栅耦合器有效
| 申请号： | 201520835610.3 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN205157829U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 郑志强 | 申请（专利权）人： | 宁波屹诺电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/34 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 315202 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种硅基电镀金属反射镜光栅耦合器，涉及光纤耦合技术以及光电集成领域，绝缘体上硅芯片通过三个制作步骤后制成硅衬底上设置有中间镂空的掩埋绝缘体，硅衬底处于掩埋绝缘体镂空处的一面设置有金属反射镜，金属反射镜上方设置有悬浮硅光波导，悬浮硅光波导上设置有耦合光栅的硅基电镀金属反射镜光栅耦合器。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型产品通过在波导光栅耦合器下方增加金属反射镜的方式实现耦合效率的提升，极大的保证了耦合的稳定性，增加了耦合的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电镀 金属 反射 光栅 耦合器 | ||
【主权项】：
一种硅基电镀金属反射镜光栅耦合器，包括绝缘体上硅芯片，所述的绝缘体上硅芯片包括硅衬底（3），其特征为，所述的硅衬底（3）上设置有中间镂空的掩埋绝缘体（2），所述硅衬底（3）处于所述掩埋绝缘体（2）镂空处的一面设置有金属反射镜（8），所述的金属反射镜（8）上方设置有悬浮硅光波导（6），所述的悬浮硅光波导（6）上设置有耦合光栅（7）。
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