[实用新型]一种用于制备化学气相沉积金属铼用前驱体的装置

摘要

本实用新型公开一种用于制备化学气相沉积金属铼用前驱体的装置，属于材料制备技术领域；本实用新所述装置包括惰性气体收集器、氧气收集器、砂芯滤球、管式炉、收集器Ⅰ、收集器Ⅱ、精馏管、加热浴锅，惰性气体收集器、氧气收集器均和砂芯滤球的一端连通，砂芯滤球位于管式炉内，砂芯滤球的另一端和收集器Ⅰ连通；收集器Ⅰ位于加热浴锅内，收集器Ⅰ和精馏管连通，精馏管的底部和收集器Ⅱ连通；本实用新型所述装置反应效率高，ReOCl₄和ReO₃Cl通过精馏的方法很进行分离，提高了产物ReOCl₄的纯度。

主权项

一种用于制备化学气相沉积金属铼用前驱体的装置，其特征在于：包括惰性气体收集器（1）、氧气收集器（2）、砂芯滤球（3）、管式炉（4）、收集器Ⅰ（5）、收集器Ⅱ（6）、精馏管（7）、加热浴锅（8），惰性气体收集器（1）、氧气收集器（2）均和砂芯滤球（3）的一端连通，砂芯滤球（3）位于管式炉（4）内，砂芯滤球（3）的另一端和收集器Ⅰ（5）连通；收集器Ⅰ（5）位于加热浴锅（8）内，收集器Ⅰ（5）和精馏管（7）连通，精馏管（7）的底部和收集器Ⅱ（6）连通。