[实用新型]一种用于硅片的喷砂装置

摘要

本实用新型涉及一种用于硅片的喷砂装置，解决了现有技术中喷砂设备结构不合理、设备检修困难的不足。本实用新型提供的一种用于硅片的喷砂装置，箱体分为上腔和下腔，在上腔内设置有喷枪、排砂口，下腔内设置喷砂器，排砂口通过排砂管与喷砂器连接，可以方便对砂料进行回收使用，喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，以配合喷枪完成喷砂操作，硅片喷砂操作方便而且砂料利用率高；另外，位于下腔的喷砂器固定在固定板上，并且，固定板滑动连接在滑轨上，也就是说需要对喷砂器进行检修时，可以先将锁紧螺钉松开，然后将固定板抽出下腔，位于固定板上的喷砂器也会被固定板带出下腔，此时，即可方便地对喷砂器进行检修。

主权项

一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内设有将箱体(1)分为上腔(2)和下腔(3)的隔板(4)，所述隔板(4)上开设有排砂口(5)，所述箱体(1)上开设有取放窗口(6)，所述箱体(1)上还开设有观察窗口(8)，所述取放窗口(6)和观察窗口(8)均与上腔(2)相通，所述箱体(1)上还固定有封闭观察窗口(8)的亚克力板(7)，所述亚克力板(7)通过粘接方式固定在箱体(1)上，所述箱体(1)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9)，所述密封板(9)的上端通过合页(10)转动连接在箱体(1)上，所述密封板(9)上粘接有提高密封板(9)与箱体(1)之间密封性能的密封垫片(11)，该用于硅片的喷砂装置还包括喷枪(12)，所述喷枪(12)位于上腔(2)内，所述下腔(3)内固定有喷砂器(13)，所述下腔(3)内设有固定喷砂器(13)的固定板(14)，所述固定板(14)滑动连接在箱体(1)上，所述箱体(1)上固定有滑轨(15)，所述滑轨(15)上开设有与固定板(14)配合的滑槽(16)，所述滑槽(16)内涂设有润滑脂，所述滑轨(15)上固定有将固定板(14)锁紧在滑槽(16)内的锁紧螺钉(17)，所述箱体(1)上还开设有检修口(18)，所述检修口(18)与下腔(3)相通，所述箱体(1)上固定有封闭检修口(18)的检修门(19)，所述排砂口(5)与喷砂器(13)之间通过排砂管(20)连接，所述喷砂器(13)通过喷砂管(21)与喷枪(12)连接，所述隔板(4)上开设有穿设喷砂管(21)的通孔，所述箱体(1)上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口(22)，所述手持窗口(22)上固定有封闭手持窗口(22)的手套(23)，所述手套(23)位于上腔(2)内。