[实用新型]一种硅片推顶机构有效
| 申请号： | 201520861958.X | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN205176483U | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 梁德志;葛军锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片推顶机构，包括硅片承载单元、升降驱动单元及旋转驱动单元，所述硅片承载单元包括硅片承载板、推顶销、导向限位块、导向限位轴承及拉簧，导向限位块与硅片承载板固定连接，推顶销垂向活动穿设于硅片承载板和导向限位块之间，导向限位轴承固定于推顶销上，拉簧的一端固定于导向限位轴承上，另一端与导向限位块固定连接；升降驱动单元设置于推顶销下方，用于推动推顶销升降；旋转驱动单元与硅片承载板固定连接以驱动硅片承载单元旋转。本实用新型中，升降驱动单元可正常推动推顶销作垂向运动，当升降过程完成，升降驱动单元收缩时，与硅片承载单元脱离接触，使得硅片承载单元旋转时无摩擦，实现硅片的大角度旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片推顶机构，其特征在于，包括硅片承载单元、升降驱动单元以及旋转驱动单元，其中，所述硅片承载单元包括硅片承载板、推顶销、导向限位块、导向限位轴承以及拉簧，所述导向限位块与所述硅片承载板固定连接，所述推顶销垂向活动穿设于所述硅片承载板和所述导向限位块之间，所述导向限位轴承固定于所述推顶销上，所述拉簧的一端固定于所述导向限位轴承上，另一端与所述导向限位块固定连接；所述升降驱动单元设置于所述推顶销下方，用于推动所述推顶销升降；所述旋转驱动单元与所述硅片承载板固定连接以驱动所述硅片承载单元旋转。
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