[实用新型]一种光刻胶供应装置有效
| 申请号： | 201520865846.1 | 申请日： | 2015-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN205210509U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘幸 | 申请（专利权）人： | 刘幸 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光刻胶供应装置，包括由桶口、桶壁、桶底构成的盛装腔体，引流管，光刻胶吸取装置，其特征在于，所述盛装腔体内设置有盖体，所述盖体的上方连接有用于带动盖体沿着腔体内壁滑动的支撑杆，所述伸缩杆和引流管同时与所述光刻胶吸取装置连接。本实用新型通过对腔体内壁上的光刻胶进行刮取，大大提高了光刻胶的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 供应 装置 | ||
【主权项】：
一种光刻胶供应装置，包括由桶口、桶壁、桶底构成的盛装腔体，引流管，光刻胶吸取装置，其特征在于，所述盛装腔体内设置有盖体，所述盖体的上方连接有用于带动盖体沿着腔体内壁滑动的支撑杆，所述支撑杆和引流管均通过光刻胶管道与所述光刻胶吸取装置连接。
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