[实用新型]MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括：衬底；第一支撑层，设置于衬底上；振膜层，振膜层包括锚区和可振动的膜层，锚区设置于第一支撑层上，膜层可移动地连接锚区；第二支撑层，设置于振膜层的锚区之上；背极板，背极板的一部分与膜层通过电介质流体分开，背极板的另一部分设置于第二支撑层上；第一导电层，设置于第二支撑层上；第一焊盘，设置于背极板上；以及第二焊盘，设置于第一导电层上，其中，第一导电层与背极板彼此电隔离，并且第一导电层连接振膜层。本实用新型的麦克风通过设置与背极板等高的第一导电层，第一导电层将振膜层引出，将第二焊盘设置在第一导电层上，减少了焊盘之间的高度差，使焊盘更容易制备，降低了打线的难度。

主权项

一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：衬底；第一支撑层，设置于所述衬底上；振膜层，所述振膜层包括锚区和可振动的膜层，所述锚区设置于所述第一支撑层上，所述膜层可移动地连接所述锚区；第二支撑层，设置于所述振膜层的锚区之上；背极板，所述背极板的一部分与所述膜层通过电介质流体分开，所述背极板的另一部分设置于所述第二支撑层上；第一导电层，设置于所述第二支撑层上；第一焊盘，设置于所述背极板上；以及第二焊盘，设置于所述第一导电层上，其中，所述第一导电层与所述背极板彼此电隔离，并且所述第一导电层连接所述振膜层。