[实用新型]基片控温系统有效
| 申请号： | 201520869276.3 | 申请日： | 2015-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN205368490U | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 赵升升;高素萍;潘展程;彭楚尧 | 申请（专利权）人： | 深圳职业技术学院;上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 王小青 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基片控温系统，所述基片控温系统包括：真空腔室；用于放置基片的样品台，设置在所述真空腔室内，且包括用于对所述基片进行加热的加热器；与所述样品台连接的循环管道，包括入口和出口；惰性气体源，通过进气阀连接在所述循环管道的入口处；冷水机水箱，通过进水阀连接在所述循环管道的入口处；以及与所述加热器、进气阀和进水阀电连接的控制单元，当需要对所述基片加热时，打开所述进气阀且保持所述进水阀关闭；当需要对所述基片进行降温时，打开所述进水阀且保持所述进气阀关闭。本实用新型可以对基片的温度进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 基片控温 系统 | ||
【主权项】：
一种基片控温系统，其特征在于，包括：真空腔室；用于放置基片的样品台，设置在所述真空腔室内，且包括用于对所述基片进行加热的加热器；与所述样品台连接的循环管道，包括入口和出口；惰性气体源，通过进气阀连接在所述循环管道的入口处；冷水机水箱，通过进水阀连接在所述循环管道的入口处；以及与所述加热器、进气阀和进水阀电连接的控制单元，当需要对所述基片加热时，打开所述进气阀且保持所述进水阀关闭；当需要对所述基片进行降温时，打开所述进水阀且保持所述进气阀关闭。
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