[实用新型]一种具有双缓冲层的FS型IGBT器件有效
申请号: | 201520871004.7 | 申请日: | 2015-11-04 |
公开(公告)号: | CN205282480U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 汤艺;徐泓;王良元;永福 | 申请(专利权)人: | 上海道之科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06;H01L21/331 |
代理公司: | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人: | 翁霁明 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种具有双缓冲层的FS型IGBT器件,包括集电极1、第二缓冲层2、第一缓冲层3、N-漂移区4、N+电荷贮存层5、P型阱6、N型源区7、发射极8和栅极9;所述第一缓冲层与所述第二缓冲层2相互平行,位于所述N-漂移区4和所述集电极1之间,且第一缓冲层3靠近N-漂移区4,第二缓冲层2靠近集电极1,第一层缓冲层3的杂质最大浓度小于第二缓冲层2的杂质最大浓度;它具有能减小导通电压,改善开关特性;从而有效地增强IGBT器件的电学性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 缓冲 fs igbt 器件 | ||
【主权项】:
一种具有双缓冲层的FS型IGBT器件,包括集电极(1)、第二缓冲层(2)、第一缓冲层(3)、N‑漂移区(4)、N+电荷贮存层(5)、P型阱(6)、N型源区(7)、发射极(8)和栅极(9);其特征在于:所述第一缓冲层与所述第二缓冲层(2)相互平行,位于所述N‑漂移区(4)和所述集电极(1)之间,且第一缓冲层(3)靠近N‑漂移区(4),第二缓冲层(2)靠近集电极(1),第一层缓冲层(3)的杂质最大浓度小于第二缓冲层(2)的杂质最大浓度。
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