[实用新型]多功能大尺寸精密测量机

摘要

本实用新型涉及精密长度测量装置，具体为多功能大尺寸精密测量机，解决目前大尺寸精密长度测量装置无法同时实现端部接触式测量与影像非接触式测量的问题，方案为：包括精密导轨，其侧面固定工作平台，导轨一端设有激光干涉仪、分光镜及干涉镜组，导轨上支撑有影像测量滑块、端面测量滑块和尾座滑块；影像测量滑块上固定有影像测量反射镜组和摄像头；端面测量滑块上固定有端面测量顶尖，顶尖尾部固定有端面测量反射镜；尾座滑块上固定有尾部顶尖；还包括控制显示主机，主机与激光干涉仪和步进电机连接。优点：1、可进行接触、非接触两种测量功能；2、节省使用空间；3、测量精度高。

主权项

一种多功能大尺寸精密测量机，其特征为：包括精密导轨（12），所述精密导轨（12）侧面固定有工作平台（13），所述精密导轨（12）一端设有射出光线与精密导轨（12）平行的激光干涉仪（2），所述精密导轨（12）朝向激光干涉仪（2）的一端依次固定有分光镜和由三块干涉镜连接组成的干涉镜组（3），所述干涉镜组（3）的镜片在同一平面内呈下二上一直角分布且与分光镜分出光线垂直；所述精密导轨（12）上支撑有受步进电机驱动的影像测量滑块（6）、端面测量滑块（9）和尾座滑块（11）；所述影像测量滑块（6）上表面固定有影像测量反射镜组（4），所述影像测量反射镜组（4）由位于同一竖直平面内的三块分别与干涉镜片相对设置的反射镜片构成，所述反射镜组（4）中位于上部的一块反射镜与下方的镜片活动连接，所述影像测量滑块（6）侧面固定有竖直向下设置的摄像头（5）；所述端面测量滑块（9）上固定有端面测量座（8），所述端面测量座（8）上固定有尾部朝向分光镜一侧的端面测量顶尖（7），所述端面测量顶尖（7）的轴线与分光镜分出的最上方一条光线在同一直线内，所述端面测量顶尖（7）的尾部固定有与所对光线垂直的端面测量反射镜；所述尾座滑块（11）上固定有尾座，所述尾座上固定有与端面测量顶尖（7）同轴的尾部顶尖（10）；所述多功能大尺寸精密测量机还包括控制显示主机（1），所述控制显示主机（1）与激光干涉仪（2）及步进电机连接。