[实用新型]一种低能等离子注入的无线智能控制装置有效
| 申请号： | 201520879559.6 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN205140925U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 毛培宏;张伶;刘南君 | 申请（专利权）人： | 新疆大学;毛培宏 |
| 主分类号： | H01J37/24 | 分类号： | H01J37/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 830046 新疆维吾*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种低能等离子注入的无线智能控制装置，包括低能等离子注入机、工控柜、电气柜和工控电脑，工控电脑通过无线通信与工控柜对应设置；低能等离子注入机内设置有仪表器件和控制器件，工控柜包括数据采样模块组件、继电器组件和无线通讯模块组件；数据采样模块组件与低能等离子注入机内设的仪表器件对应设置，继电器组件与低能等离子注入机内设的控制器件对应设置。该装置实现了设备无线智能控制，大大提高低能离子的注入效率和注入精度，对离子注入行业有广泛的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低能 等离子 注入 无线智能 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种低能等离子注入的无线智能控制装置，该控制装置包括低能等离子注入机、工控柜、电气柜和工控电脑，工控电脑通过无线通信与工控柜对应设置；低能等离子注入机内设置有仪表器件和控制器件；低能等离子注入机中的仪表器件包括电弧电流仪表、电弧电压仪表、灯丝电流仪表、加速电压仪表、减速电压仪表和束流仪表，且依次连接；低能等离子注入机中的控制器件包括预抽泵、扩散泵、机械泵、前级阀、预抽阀、主阀一、主阀二、头部电源、减速电源、加速电源、加速控制组件、减速控制组件、弧流控制组件和灯丝控制组件，且依次连接；工控柜包括数据采样模块组件、继电器组件和无线通讯模块组件；数据采样模块组件与低能等离子注入机内设的仪表器件对应设置，继电器组件与低能等离子注入机内设的控制器件对应设置。
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