[实用新型]一种光刻机光源有效
| 申请号： | 201520880906.7 | 申请日： | 2015-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN205210510U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 孙者利;张运 | 申请（专利权）人： | 济南卓微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机光源，该光刻机光源包括10颗以上的紫外线灯珠均匀分布在光源板正面，紫外线灯珠通过导线连接到发生器上，发生器调节光源强度。本实用新型的光刻机光源光强度高、热量小、寿命长、功率小仅有现有技术的10%、环保无污染、使用寿命长、报废少，提高效率200%，曝光时间短，曝光后线条整齐，能够有效减少热源解决粘片现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 光源 | ||
【主权项】：
一种光刻机光源，其特征在于，包括10颗以上的紫外线灯珠均匀分布在光源板正面，紫外线灯珠通过导线连接到发生器上，发生器调节光源强度。
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