[实用新型]机器人和基板处理系统

摘要

本申请公开了机器人和基板处理系统。提供用于传送基板的机器人、处理系统以及方法。在一个实施方式中，提供机器人，所述机器人包括：可旋转主体；第一终端受动器；以及直通束检测器，所述直通束检测器安装至所述机器人。所述第一终端受动器被安装至所述主体，并且随所述主体旋转。所述第一终端受动器能沿第一方向在基本在所述主体上方的回缩位置与延伸位置之间移动。所述直通束检测器包括第一传感器和第二传感器。所述第一传感器和所述第二传感器在一位置处侧向间隔开来，在所述位置处，所述第一传感器和所述第二传感器可操作以在所述第一终端受动器在所述延伸位置与所述回缩位置之间移动时，感测设置在所述第一终端受动器上的基板的相对边缘。

主权项

一种机器人，包括：可旋转主体；第一终端受动器，所述第一终端受动器被安装至所述主体，并且随所述主体旋转，所述第一终端受动器能在基本在所述主体上方的回缩位置与延伸位置之间移动；以及直通束检测器，所述直通束检测器安装至所述机器人，所述直通束检测器包括：第一传感器；以及第二传感器，所述第一传感器和所述第二传感器在一位置处侧向间隔开来，在所述位置处，所述第一传感器和所述第二传感器可操作以在所述第一终端受动器在所述延伸位置与所述回缩位置之间移动时，感测设置在所述第一终端受动器上的基板的相对边缘。