[实用新型]一种镀膜机的扩散泵主阀门

摘要

一种镀膜机的扩散泵主阀门，包括安装在真空腔体中的扩散泵、阀盖，安装在真空腔体外面的阀盖驱动机构，阀盖驱动机构包括旋转机构、转轴、第一连杆和第二连杆；转轴处于真空腔体的上部，转轴的两端分别可转动安装在真空腔体的侧壁上；旋转机构安装在真空腔体的外侧壁上，旋转机构的动力输出端与转轴的一端传动连接；第一连杆的上端与转轴的中部固定连接，第一连杆的下端与第二连杆的上端铰接，第二连杆的下端与阀盖铰接。通过旋转机构驱动转轴转动，转轴带动第一连杆、第二连杆作曲向运动，对阀盖进行开启闭合，大幅度减少摩擦距离，摩擦更小，减少阀盖驱动机构的转轴的磨损，保持更好的真空环境，降低故障率，提高生产效率。

主权项

一种镀膜机的扩散泵主阀门，包括安装在真空腔体中的扩散泵、盖合在扩散泵开口处的阀盖，以及安装在真空腔体外面的阀盖驱动机构，阀盖驱动机构的动力输出端伸入到真空腔体中并与阀盖连接，其特征是：所述阀盖驱动机构包括旋转机构、转轴、第一连杆和第二连杆；转轴处于所述真空腔体的上部，转轴的两端分别可转动安装在真空腔体的侧壁上；旋转机构安装在真空腔体的外侧壁上，旋转机构的动力输出端与转轴的一端传动连接；第一连杆的上端与转轴的中部固定连接，第一连杆的下端与第二连杆的上端铰接，第二连杆的下端与阀盖铰接。