[实用新型]微影制程中水洗工艺用清洗装置有效
| 申请号： | 201520905973.X | 申请日： | 2015-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN205236511U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 刘爱斌;蔡闯;朱佔涛;郑贵平 | 申请（专利权）人： | 昆山鼎鑫电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 孙晓宇 |
| 地址： | 215316 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微影制程中水洗工艺用清洗装置，包括依次连接的输送装置、第一清洗装置、第二清洗装置和回收装置，所述第一清洗装置包括第一槽体，所述第一槽体上设有第一进液口和第一出液口，所述第二清洗装置包括第二槽体，所述第二槽体上设有第二进液口和第二出液口，所述第一出液口的高度不低于所述第二进液口和第二出液口的高度。本实用新型所述微影制程中水洗工艺用清洗装置将较为干净的洗液输送至浑浊的洗液中再利用，将洗液循环利用，减少了洗液的用量以及污水的排出量，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 微影制程中 水洗 工艺 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种微影制程中水洗工艺用清洗装置，其特征在于，包括依次连接的输送装置、第一清洗装置、第二清洗装置和回收装置，所述第一清洗装置包括第一槽体，所述第一槽体上设有第一进液口和第一出液口，所述第二清洗装置包括第二槽体，所述第二槽体上设有第二进液口和第二出液口，所述第一出液口的高度不低于所述第二进液口和第二出液口的高度。
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