[实用新型]一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，包括真空腔体、抽气机、控制柜和与真空腔体连通的充气机，真空腔体内设置有加热装置和磁控溅射系统，抽气机与真空腔体连通，抽气机和充气机分别位于真空腔体的上下两侧，抽气机的抽气口正对充气机的充气口，真空腔体内的左右两端分别设置有放卷机和收卷机，加热装置和磁控溅射系统分别位于真空腔体内的上下两端，充气机、放卷机和收卷机的控制信号输入端均与控制柜的控制信号输出端连接。本实用新型在真空腔体内添加了放卷机和收卷机，使金属卷带能够展开，从而实现线性传动连续加热和镀膜，加热和镀膜更均匀，膜层更牢固、更致密。

主权项

一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，包括真空腔体、抽气机和控制柜，所述真空腔体内设置有加热装置和磁控溅射系统，所述抽气机与所述真空腔体连通，其特征在于：还包括与所述真空腔体连通的充气机，所述抽气机和所述充气机分别位于所述真空腔体的上下两侧，所述抽气机的抽气口正对所述充气机的充气口，所述真空腔体内的左右两端分别设置有放卷机和收卷机，所述加热装置和所述磁控溅射系统分别位于所述真空腔体内的上下两端，所述充气机、所述放卷机和所述收卷机的控制信号输入端均与所述控制柜的控制信号输出端连接。