[实用新型]气体传感器芯片有效
申请号: | 201520912818.0 | 申请日: | 2015-11-16 |
公开(公告)号: | CN205120645U | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 张廷凯 | 申请(专利权)人: | 歌尔声学股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 马佑平;黄锦阳 |
地址: | 261031 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种气体传感器芯片,包括:基座,基座为板形,基座设有支撑元件,还设有供电焊盘和测量焊盘;至少一加热元件,加热元件设于基座上且与供电焊盘通过导线连接;以及至少一气敏元件,气敏元件设于加热元件上且与测量焊盘连接。当由于热失配导致变形时,由于支撑元件的存在,形变可以通过支撑元件的倾斜、拉伸或者扭转等进行缓冲或者抵消,从而使得基座结构保持基本稳固,不会造成加热元件形变甚至破裂,防止了封装过程对加热元件造成的机械变形和应力的产生,提高了结构的可靠性,并能降低对封装工艺和选材的要求。提高了气体传感器芯片的使用寿命和使用稳定性。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 芯片 | ||
【主权项】:
一种气体传感器芯片,其特征在于,包括:基座(1),所述基座(1)为板形,所述基座(1)设有支撑元件(6),所述基座(1)还设有供电焊盘(71)和测量焊盘(31);至少一加热元件,所述加热元件设于所述基座(1)上且与所述供电焊盘(71)通过导线连接;以及至少一气敏元件(3),所述气敏元件(3)设于所述加热元件上且与所述测量焊盘(31)通过导线连接。
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