[实用新型]气体传感器芯片有效

专利信息
申请号: 201520912818.0 申请日: 2015-11-16
公开(公告)号: CN205120645U 公开(公告)日: 2016-03-30
发明(设计)人: 张廷凯 申请(专利权)人: 歌尔声学股份有限公司
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 代理人: 马佑平;黄锦阳
地址: 261031 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种气体传感器芯片,包括:基座,基座为板形,基座设有支撑元件,还设有供电焊盘和测量焊盘;至少一加热元件,加热元件设于基座上且与供电焊盘通过导线连接;以及至少一气敏元件,气敏元件设于加热元件上且与测量焊盘连接。当由于热失配导致变形时,由于支撑元件的存在,形变可以通过支撑元件的倾斜、拉伸或者扭转等进行缓冲或者抵消,从而使得基座结构保持基本稳固,不会造成加热元件形变甚至破裂,防止了封装过程对加热元件造成的机械变形和应力的产生,提高了结构的可靠性,并能降低对封装工艺和选材的要求。提高了气体传感器芯片的使用寿命和使用稳定性。
搜索关键词: 气体 传感器 芯片
【主权项】:
一种气体传感器芯片,其特征在于,包括:基座(1),所述基座(1)为板形,所述基座(1)设有支撑元件(6),所述基座(1)还设有供电焊盘(71)和测量焊盘(31);至少一加热元件,所述加热元件设于所述基座(1)上且与所述供电焊盘(71)通过导线连接;以及至少一气敏元件(3),所述气敏元件(3)设于所述加热元件上且与所述测量焊盘(31)通过导线连接。
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