[实用新型]一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线有效
| 申请号： | 201520915429.3 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN205241783U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 梁睦宇;裘晖 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线，其由上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机、纠偏架和下片架构成，进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶；进片预抽室设有第一变换抽真空机组，出片预抽室设有第二变换抽真空机组；进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件，出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。本实用新型可多种镀膜工艺集中于同一设备中，降低了生产投入，提高了经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 磁控溅射 自动 镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
一种多功能磁控溅射自动镀膜生产线，包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、真空镀膜装置、出片架、平移架、底漆淋漆室、底漆洪烤箱、面漆淋漆室、面漆烘烤箱、面漆风干室、后清洗机、纠偏架和下片架，其特征在于：所述真空镀膜装置包括依次连接的进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室和出片粗抽室；所述进片缓冲室和出片缓冲室均设有镀膜靶；所述进片预抽室设有第一变换抽真空机组，所述出片预抽室设有第二变换抽真空机组；所述进片过渡室和进片缓冲室之间设有进片排气组件，所述出片缓冲室和出片过渡室之间设有出片排气组件。
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