[实用新型]双放双收卷绕镀膜装置有效
| 申请号： | 201520916605.5 | 申请日： | 2015-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN205188432U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 谢静娜;裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种双放双收卷绕镀膜装置，其装置包括真空室和两组收放辊卷绕机构，真空室为横置的圆筒状或方形箱状的结构，真空室内的中部设置镀膜区域和离子处理区域，镀膜区域位于离子处理区域上方，两组收放辊卷绕机构分别设于真空室内的两侧，各收放辊卷绕机构上的卷材经过离子处理区域和镀膜区域相应的外侧面。其方法是先在靶车上安装溅射靶组件和离子处理组件，在卷绕车上安装收放辊卷绕机构；通过靶车和卷绕车将溅射靶组件、离子处理组件和收放辊卷绕机构送入真空室中；同时启动两组收放辊卷绕机构，进行双放双收式的镀膜处理。本实用新型实现双放双收式的镀膜处理加工，大幅提高生产效率，有利于产品成本控制，提高产品的市场竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 双放双收 卷绕 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
双放双收卷绕镀膜装置，其特征在于，包括真空室和两组收放辊卷绕机构，真空室为横置的圆筒状或方形箱状结构，真空室内的中部设置镀膜区域和离子处理区域，镀膜区域位于离子处理区域上方，两组收放辊卷绕机构分别设于真空室内的左右两侧，各收放辊卷绕机构上的卷材依次经过离子处理区域和镀膜区域相应的外侧面。
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