[实用新型]一种压电驱动三维椭圆微进给运动平台

摘要

本实用新型涉及一种压电驱动三维椭圆微进给运动平台，属于超精密切削加工以及难加工材料复杂光学零件加工技术领域。分别有两对直圆型柔性铰链和两对直梁型柔性铰链相互对称分布在工件基座和工件基座外圈两侧，X和Y轴方向上的压电叠堆通过压电叠堆预紧孔由预紧螺钉安装在柔性铰链平台上，Z轴方向上压电叠堆通过两个楔形块安装在底座上，工件基座在Z轴方向上的初始高度可调。本实用新型利用柔性铰链平台来完成微位移的传递，最大限度的减少微位移传递过程中在精度上的损失从而弥补压电陶瓷进给步幅小的缺点，压电驱动的三维椭圆微进给运动平台运动平滑,分辨率高,刚度好。

主权项

一种压电驱动三维椭圆微进给运动平台，其特征在于：右侧板和左侧板底部分别与底座固定连接，柔性铰链平台与右侧板和左侧板上方连接，直圆型柔性铰链一和直圆型柔性铰链二一端分别与直圆型柔性铰链三和直圆型柔性铰链四一端对称分布连接在工件基座的两侧，该四个直圆型柔性铰链的另一端分别与工件基座外圈连接，直梁型柔性铰链一和直梁型柔性铰链二一端分别与直梁型柔性铰链三和直梁型柔性铰链四一端对称分布连接工件基座外圈的两侧，该四个直梁型柔性铰链的另一端分别与柔性铰链平台外圈连接，X轴方向上的压电叠堆和Y轴方向上的压电叠堆分别由螺栓通过孔一、孔二预紧安装在柔性铰链平台外圈上，Z轴方向上的压电叠堆上部与工件基座下部连接、底部与楔形组合块连接，该楔形组合块位于微调导轨中，楔形组合块的顶杆穿过微调顶板上的微调螺孔。